Le 20 avril 1704, le maréchal de Villars, prétendant vouloir « calmer l’aigreur entre anciens et nouveaux convertis » remplace le maréchal de Montrevel. Sa politique plus souple laisse place aux tractations et aux compromis. Il offre une amnistie à tous ceux qui déposeront les armes.
Il engage une négociation avec Cavalier qui accepte une reddition sans condition tandis que de son côté Rolland continue le combat en tendant une embuscade victorieuse au Plan de Fontmort.
Le Roi accorde à Cavalier l’amnistie, la permission de sortir du royaume mais sans reconnaissance de liberté de culte. Il quitte la province pour la Suisse le 21 juin 1704.
Le 13 août, Rolland est surpris et tué dans un château près d’Uzès. Sa disparition marque la fin des espérances des combattants. Les derniers chefs camisards se rendent en octobre ; la plupart partent à l’étranger, quelques-uns restent, comme Mazel, qui sera arrêté en janvier 1705 et enfermé à la tour de Constance. Après son évasion en juillet, il s’exile en Suisse avec Marion.
Quelques tentatives de relance de la guerre échouent :
- le « complot des enfants de Dieu » par Ravanel et Catinat contre Baville et Berwick en 1705,
- la formation d’un régiment par Cavalier pour pénétrer en Languedoc depuis la Catalogne en 1706,
- la tentative de révolte dans le Vivarais menée par Abraham Mazel en 1709.
Le 25 juillet 1710, les troupes anglaises tentent en vain un débarquement à Sète pour appuyer un éventuel soulèvement.
En 1711, seuls quelques camisards isolés restent en Languedoc abandonnant tout projet guerrier.
